高溫爐五大操作規(guī)程
發(fā)布日期：2018-12-17 瀏覽次數(shù)：
一、預(yù)備工作
1.查看電源線觸摸是不是良好
2.查看連接線是不是正常
3.查看冷卻水是不是正常
4.查看密封性是不是正常
5.預(yù)備所需工具：無(wú)塵紙、無(wú)水酒精、帆布手套、工作手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
二、開(kāi)爐
1，翻開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)
2，向爐體充氬氣至大氣壓，翻開(kāi)爐體前門，取下石墨蓋板
3，將輸送車開(kāi)關(guān)打至 OUT，順次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕，取出 。石墨坩堝，順次放置于石墨推車上輸送車開(kāi)關(guān).
4，清爐 整理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
三、裝料
1.將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上，使用限位桿斷定其方位，順次裝入硅料。
2.拔出限位桿，輸送車開(kāi)關(guān)打至 IN，順次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并斷定輸送車會(huì)到初始方位。
3.裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門
四、 抽氣
1，查看爐門是不是關(guān)緊，真空體系是不是密封
2，置 DP 按鈕于 DP ON，翻開(kāi)干式真空泵，翻開(kāi)真空計(jì)開(kāi)關(guān) P1G1，翻開(kāi)干式真空泵 。閥門，開(kāi)端抽氣測(cè)驗(yàn)走漏率，
3，當(dāng)壓力表指示為 50Pa是封閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min，翻開(kāi)氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
4，加熱 先翻開(kāi)水環(huán)泵 再按 RUN，開(kāi)端技術(shù)加熱。
五、冷卻
1.加熱完畢后，按技術(shù)條件進(jìn)行冷卻；
2.爐內(nèi)溫度下降至 200℃以下，壓力達(dá)到一個(gè)大氣壓后才可翻開(kāi)爐門，繼續(xù)冷卻。
3.完全冷卻至室溫后，將輸送車開(kāi)關(guān)打至 OUT，順次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕，取出石墨坩堝，取出硅料，并進(jìn)行分裝。
4.打掃爐體后封閉爐門，將爐體抽成負(fù)壓。
5.整理并妥善放置其它附屬物件。
以上就是我們總結(jié)的高溫爐的操作規(guī)程，但是除了按照操作規(guī)程來(lái)操作以外，還要注意高溫爐的日常保養(yǎng)，這樣才能保證爐子經(jīng)久耐用。
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